Lichterfassungsmechanismus für eine Laserablationsvorrichtung mit invarianter Abtastungsverschiebung

EP1925964 Art A1 28. Mai 2008

Anmelder: Palo Alto Research Center Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1925964
Aktenzeichen: EP07120976
Anmeldetag: 19. November 2007
Veröffentlichung: 28. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/10B23K26/08B23K26/40H01L21/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Palo Alto Research Center Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Palo Alto Research Center

US-amerikanisches Forschungsinstitut in Palo Alto, bekannt als PARC, das für Xerox und externe Auftraggeber Grundlagen- und angewandte Forschung in Informatik, Elektronik und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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