Belichtungsgerät und -Verfahren sowie Verfahren zur Herstellung des Geräts

EP1926128 Art A1 28. Mai 2008

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1926128
Aktenzeichen: EP06797168
Anmeldetag: 31. August 2006
Veröffentlichung: 28. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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