Verfahren zur Herstellung eines Siliziumepitaxialwafers
EP1926134
Art B1
30. März 2016
Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1926134
- Aktenzeichen
- EP07021018
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 30. März 2016
- Erteilung
- 30. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/322C30B25/20C30B15/20C30B29/06C30B33/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
Adam, Holger
München, Deutschland
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Albrecht, Thomas
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