Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung eines Substrats mittels Aktiviertem Reaktivem Gas
EP1926840
Art A1
4. Juni 2008
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1926840
- Aktenzeichen
- EP06803653
- Anmeldetag
- 13. September 2006
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/452C23C16/455H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Vertreten von
Schwabe, Hans-Georg
München, Deutschland
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8
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