Herstellung und Behandlung einer epitaktischen Schicht mit Silicium und Kohlenstoff
EP1928013
Art A3
23. Juni 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1928013
- Aktenzeichen
- EP07023380
- Anmeldetag
- 3. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/18H01L21/268H01L29/24H01L29/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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