Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung mit vollständigem Dual-Silizidgate

EP1928021 Art A1 4. Juni 2008

Anmelder: IMEC, Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd., Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1928021
Aktenzeichen
EP07075957
Anmeldetag
5. November 2007
Veröffentlichung
4. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8238
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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