Vorrichtung und Verfahren zur Kontinuierlichen Gasphasenabscheidung unter Atmosphärendruck und deren Verwendung

EP1929066 Art B1 5. August 2009

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1929066
Aktenzeichen
EP06792230
Anmeldetag
22. September 2006
Veröffentlichung
5. August 2009
Erteilung
5. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/54C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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