Zusammensetzung und Verfahren zur Verlängerung der Topfzeit von Wasserstoffperoxid Enthaltenden Cmp-Aufschlämmungen

EP1929071 Art A1 11. Juni 2008

Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1929071
Aktenzeichen
EP06803687
Anmeldetag
15. September 2006
Veröffentlichung
11. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23F3/06C09G1/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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