Zusammensetzung und Verfahren zur Verlängerung der Topfzeit von Wasserstoffperoxid Enthaltenden Cmp-Aufschlämmungen
EP1929071
Art A1
11. Juni 2008
Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1929071
- Aktenzeichen
- EP06803687
- Anmeldetag
- 15. September 2006
- Veröffentlichung
- 11. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F3/06C09G1/02H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Trueman, Lucy Petra
Birmingham, Großbritannien
598
Patente gesamt
34
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte