Verfahren zum Herstellen von Amorphen und Polykristallinen Silizium-Dünnfilmschaltungen

EP1929518 Art A1 11. Juni 2008

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1929518
Aktenzeichen
EP06793054
Anmeldetag
29. August 2006
Veröffentlichung
11. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/84H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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