Verbesserung an einem optischen Pfad, Fokuslängenänderungsausgleich und Streulichtminderung für ein Temperaturmesssystem eines RTP-Tools
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1930707
- Aktenzeichen
- EP08002158
- Anmeldetag
- 21. August 2003
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J5/08G01J5/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
377 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.