Spülflüssigkeit für die Lithographie und Verfahren zur Erzeugung einer Resiststruktur
EP1930775
Art A1
11. Juni 2008
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1930775
- Aktenzeichen
- EP05781041
- Anmeldetag
- 29. August 2005
- Veröffentlichung
- 11. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/32H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
927 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hayes, Adrian Chetwynd
London, Großbritannien
1.713
Patente gesamt
31
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte