Lithographische Vorrichtung

EP1932062 Art A1 18. Juni 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands BV, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1932062
Aktenzeichen: EP06805997
Anmeldetag: 2. Oktober 2006
Veröffentlichung: 18. Juni 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands BV
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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