Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung auf der Grundlage von Nanokristallen, die mit einer Nitridschicht beschichtet sind, die durch chemische Dampfabscheidung (CVD) aufgebracht wurde

EP1933373 Art A3 8. Juli 2009

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1933373
Aktenzeichen
EP07122702
Anmeldetag
10. Dezember 2007
Veröffentlichung
8. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/28C23C16/34H01L21/285H01L29/423
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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