Verfahren zum Aussparungsätzen

EP1933375 Art A3 29. April 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1933375
Aktenzeichen
EP07150004
Anmeldetag
13. Dezember 2007
Veröffentlichung
29. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/308H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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