Borionenimplantation unter Verwendung Alternativer Fluorierter Borvorläufer und Bildung Grosser Borhydride für die Implantation
EP1933992
Art B1
24. September 2014
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1933992
- Aktenzeichen
- EP06813979
- Anmeldetag
- 30. August 2006
- Veröffentlichung
- 24. September 2014
- Erteilung
- 24. September 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05D3/06C23C14/14C23C14/24C23C14/46C23C14/48H01L21/265H01L21/425H01J37/08H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bumke, Jakob Wenzel
Cheddar, Großbritannien
271
Patente gesamt
29
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves, Carol Pauline
NoneCheddar