Chemisch-Mechanisches Polieren von Kupfer/ruthenium-Substraten
EP1934015
Art B1
21. März 2012
Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1934015
- Aktenzeichen
- EP06825857
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 21. März 2012
- Erteilung
- 21. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B3/06B24B37/04H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Trueman, Lucy Petra
Birmingham, Großbritannien
598
Patente gesamt
34
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte