Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von Objekten
EP1935004
Art B1
7. Januar 2009
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1935004
- Aktenzeichen
- EP06791415
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2009
- Erteilung
- 7. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C23C16/44C23C16/509
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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