Verfahren zum Herstellen von Oxidschichten auf Siliciumcarbidschichten unter Verwendung von atomischem Sauerstoff

EP1935011 Art B1 14. September 2011

Anmelder: Cree, Inc., CREE, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1935011
Aktenzeichen
EP06800059
Anmeldetag
11. Juli 2006
Veröffentlichung
14. September 2011
Erteilung
14. September 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/321H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cree, Inc.
CREE, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cree

US-amerikanischer Halbleiterhersteller, bekannt für LED- und Leistungshalbleitertechnik auf Siliziumkarbid-Basis. Das Unternehmen benannte sich 2021 in Wolfspeed um.

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