Vorrichtung, Verfahren und System zur Probenuntersuchung

EP1936363 Art A3 8. Dezember 2010

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1936363
Aktenzeichen
EP07254815
Anmeldetag
12. Dezember 2007
Veröffentlichung
8. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G01N23/225H01J37/20H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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