Projektionsbelichtungsverfahren und Gerät und optisches Projektionssysteme

EP1936419 Art A3 10. September 2008

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1936419
Aktenzeichen: EP08004980
Anmeldetag: 28. September 2000
Veröffentlichung: 10. September 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/24G02B13/18G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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