Dotierung von Nanostrukturen

EP1936666 Art A1 25. Juni 2008

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1936666
Aktenzeichen
EP07009495
Anmeldetag
11. Mai 2007
Veröffentlichung
25. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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