Herstellungsverfahren eines SOI-Substrats durch Assoziation von Zonen auf Siliziumbasis und Zonen auf GaAs-Basis

EP1936669 Art B1 19. August 2009

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1936669
Aktenzeichen
EP07123409
Anmeldetag
17. Dezember 2007
Veröffentlichung
19. August 2009
Erteilung
19. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/762H01L21/8258
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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