Verfahren zur Verbesserung des selektiven Epitaxial-Wachstumsprozesses
EP1936670
Art A3
1. Mai 2013
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1936670
- Aktenzeichen
- EP07447070
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
2.629 Patente in unserer Datenbank