Verfahren zur Verbesserung des selektiven Epitaxial-Wachstumsprozesses

EP1936670 Art A3 1. Mai 2013

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1936670
Aktenzeichen
EP07447070
Anmeldetag
21. Dezember 2007
Veröffentlichung
1. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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