Polierlösung für Cmp und Polierverfahren

EP1936673 Art A1 25. Juni 2008

Anmelder: Hitachi Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1936673
Aktenzeichen: EP06811509
Anmeldetag: 10. Oktober 2006
Veröffentlichung: 25. Juni 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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