Verfahren zur Herstellung eines SOI-Substrats

EP1936679 Art A1 25. Juni 2008

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Company, Ltd., Shinetsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1936679
Aktenzeichen
EP07023462
Anmeldetag
4. Dezember 2007
Veröffentlichung
25. Juni 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Company, Ltd.
Shinetsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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