Plasmareaktor
EP1937870
Art B1
10. November 2010
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1937870
- Aktenzeichen
- EP06779552
- Anmeldetag
- 26. September 2006
- Veröffentlichung
- 10. November 2010
- Erteilung
- 10. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/56B01D53/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Clark, Charles Robert
West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte