Fotoresistzusammensetzung, die ein Auflösungsmodifikationsmittel mit Niedriger Aktivierungsenergie Enthält
EP1938149
Art B1
27. Januar 2010
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1938149
- Aktenzeichen
- EP06778316
- Anmeldetag
- 21. August 2006
- Veröffentlichung
- 27. Januar 2010
- Erteilung
- 27. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039C07J9/00C07J17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Vertreten von
Burt, Roger James
Winchester, Großbritannien
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