Verfahren zur Planarisierung einer Metallschicht über Fotoresist und Mikrospiegel Vorrichtung

EP1938365 Art B1 14. November 2012

Anmelder: Texas Instruments Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1938365
Aktenzeichen
EP06814963
Anmeldetag
20. September 2006
Veröffentlichung
14. November 2012
Erteilung
14. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Texas Instruments Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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