Verfahren zur Behandlung von Gas

EP1941073 Art B1 17. April 2013

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1941073
Aktenzeichen
EP06779560
Anmeldetag
28. September 2006
Veröffentlichung
17. April 2013
Erteilung
17. April 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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