Teilchenoptische Anordnung mit teilchenoptischer Komponente

EP1941528 Art B9 28. September 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel Ltd., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1941528
Aktenzeichen: EP06805659
Anmeldetag: 6. September 2006
Veröffentlichung: 28. September 2011
Erteilung: 28. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/09H01J37/04H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel Ltd.
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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