Elektrostatisches Ablenksystem mit Impedanzanpassung für Hohe Positionierungsgenauigkeit

EP1941529 Art A2 9. Juli 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1941529
Aktenzeichen: EP06815310
Anmeldetag: 26. September 2006
Veröffentlichung: 9. Juli 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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