Ultraviolett-Aushärtprozess für Dielektrische Filme mit Niedrigem K
Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC., IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1941539
- Aktenzeichen
- EP05819255
- Anmeldetag
- 6. September 2005
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3105H01L21/316H01L21/26C09D183/00C01B37/02H01L21/312C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW - Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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