Verfahren zum Reduzieren des Dielektrikum-Überätzens unter Verwendung einer Dielektrikum-Ätzstoppschicht auf einer Planaren Oberfläche
EP1941542
Art A2
9. Juli 2008
Anmelder: SanDisk 3D LLC, Sandisk 3D LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1941542
- Aktenzeichen
- EP06739506
- Anmeldetag
- 24. März 2006
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L21/8246
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SanDisk 3D LLC
Sandisk 3D LLC - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
SanDisk 3D
SanDisk 3D war eine auf dreidimensionale Speichertechnologien spezialisierte Tochtergesellschaft von SanDisk, heute Teil von Western Digital. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiterbauelemente sowie Akustik- und Datenspeichertechnik. Die Anmeldungen aus 2001 bis 2014 betreffen unter anderem vertikale Feldeffekttransistoren und 1T-1R-Speicherzellen.
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Vertreten von
Hitchcock, Esmond Antony
London, Großbritannien
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