Reinigungsblatt, mit Reinigungsfunktion Ausgestattetes Transferglied und Verfahren zum Reinigen einer Substratverarbeitungsvorrichtung
EP1942519
Art A1
9. Juli 2008
Anmelder: NITTO DENKO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1942519
- Aktenzeichen
- EP06811663
- Anmeldetag
- 12. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B1/00H01L21/304A47L25/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NITTO DENKO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nitto Denko
Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.
8.008 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Koepe, Gerd L
München, Deutschland
363
Patente gesamt
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Fachgebiete
13
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Schwerpunkte