Poröses Silizium und Verfahren zu dessen Herstellung

EP1942520 Art A3 11. November 2009

Anmelder: Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1942520
Aktenzeichen
EP07123736
Anmeldetag
19. Dezember 2007
Veröffentlichung
11. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3063
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University

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