Haltevorrichtung, Montagesystem, Sputtervorrichtung, Bearbeitungsverfahren und Bearbeitungsvorrichtung

EP1944122 Art A1 16. Juli 2008

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1944122
Aktenzeichen: EP06796794
Anmeldetag: 25. August 2006
Veröffentlichung: 16. Juli 2008
Rechtsraum: EP
IPC: B23Q3/15B81C3/00C23C14/34B23K1/00C23C14/04C23C14/50H01F7/20B25B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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