Verfahren für den Betrieb eines EUV-Lithografiegeräts und EUV-Lithografiegerät
EP1944652
Art A1
16. Juli 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1944652
- Aktenzeichen
- EP07000471
- Anmeldetag
- 10. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
19
Patente gesamt
13
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte