Verfahren zur Hinterlegung von Reflektiven Mehrschichtfilmen von Reflektiven Maskenrohlingen für Euv-Lithographie und Herstellungsverfahren dafür
EP1945829
Art A1
23. Juli 2008
Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1945829
- Aktenzeichen
- EP06823435
- Anmeldetag
- 9. November 2006
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/02C23C14/34B24B37/00G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Asahi Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
AGC (Asahi Glass)
Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.
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