Verfahren und Vorrichtung zur Bildung eines Epitaktischen Films

EP1945836 Art A2 23. Juli 2008

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1945836
Aktenzeichen
EP06825564
Anmeldetag
3. Oktober 2006
Veröffentlichung
23. Juli 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C30B15/14H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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