Verbesserte Spektralmetrologie für einen Gasentladungslaser mit Hoher Wiederholungsrate

EP1946054 Art A2 23. Juli 2008

Anmelder: Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1946054
Aktenzeichen: EP06851603
Anmeldetag: 23. Juni 2006
Veröffentlichung: 23. Juli 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/45G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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