Positionierapparat und Belichtungsapparat, Verfahren zum Betreiben eines Positionierapparats und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
EP1947512
Art B1
7. August 2013
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1947512
- Aktenzeichen
- EP08008011
- Anmeldetag
- 14. August 2002
- Veröffentlichung
- 7. August 2013
- Erteilung
- 7. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.221 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
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TBK-Patent
TBK-Patent · München