Elektronenkanone, Elektronenstrahl-Belichtungssystem und Belichtungsverfahren
Anmelder: ADVANTEST CORPORATION, DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1947674
- Aktenzeichen
- EP06822909
- Anmeldetag
- 2. November 2006
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2015
- Erteilung
- 17. Juni 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/073H01J37/305H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANTEST CORPORATION
DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Denki Kagaku Kogyo, heute als Denka bekannt, ist ein japanischer Chemiekonzern mit Schwerpunkt auf Kunststoffen, Klebstoffen und elektronischen Materialien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Farben, Klebstoffe und Brennstoffe, ergänzt durch Halbleiter und anorganische Chemie. Anmeldungen stammen aus dem Zeitraum 2000 bis 2015.
634 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.