Methode zum Entfernen von Schwermetallkontamination aus III-V Halbleiter-Substraten
EP1950326
Art A1
30. Juli 2008
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1950326
- Aktenzeichen
- EP07001836
- Anmeldetag
- 29. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/18C23F3/06H01L21/3213H05K3/06H05K3/38
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
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