Reinigungsflüssigkeit und Reinigungsverfahren für elektronisches Material

EP1950792 Art A1 30. Juli 2008

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1950792
Aktenzeichen
EP07023561
Anmeldetag
5. Dezember 2007
Veröffentlichung
30. Juli 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02B08B3/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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