Verfahren zur Messung einer Optischen Kenngrösse, Belichtungsverfahren, Bauelemente-Herstellungsverfahren, Untersuchungsvorrichtung und Messverfahren

EP1950794 Art A1 30. Juli 2008

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1950794
Aktenzeichen: EP06811544
Anmeldetag: 10. Oktober 2006
Veröffentlichung: 30. Juli 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/207

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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