Prozess zur Filmherstellung unter Verwendung eines Umgebungsdruck-Wasserstoffplasmas und Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Reinigungsfilms

EP1950797 Art A1 30. Juli 2008

Anmelder: Sharp Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1950797
Aktenzeichen: EP06797672
Anmeldetag: 8. September 2006
Veröffentlichung: 30. Juli 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/203H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sharp Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sharp

Japanischer Elektronikkonzern mit Sitz in Sakai bei Osaka, seit 2016 mehrheitlich zu Foxconn gehörend. Aktiv in Displaytechnik (LCD, OLED), Unterhaltungselektronik, Haushaltsgeräten sowie Halbleiter- und Solartechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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