Plasmaminderungsvorrichtung

EP1951422 Art B1 18. Mai 2011

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1951422
Aktenzeichen
EP06779493
Anmeldetag
21. September 2006
Veröffentlichung
18. Mai 2011
Erteilung
18. Mai 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B01J19/12B01D53/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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