Wässrige Sowohl Auftrag- als Auch Wiederabziehbare Deckschichten für die Immersionslithographie bei 193 Nm
EP1951829
Art B1
9. Dezember 2009
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1951829
- Aktenzeichen
- EP06794016
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2009
- Erteilung
- 9. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09D129/00C09D131/04G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Fachgebiete
Vertreten von
Burt, Roger James
Winchester, Großbritannien
204
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18
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5
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