Zusammensetzung zur Cvd-Filmbildung und Verfahren zur Herstellung eines Films mit Kleiner Dielektrizitätskonstante

EP1951929 Art B1 6. Juni 2012

Anmelder: Nippon Shokubai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1951929
Aktenzeichen
EP06823488
Anmeldetag
15. November 2006
Veröffentlichung
6. Juni 2012
Erteilung
6. Juni 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/314H01L21/768H01L23/522C23C16/34C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nippon Shokubai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Shokubai

Japanisches Chemieunternehmen, das unter anderem Acrylsäure, Superabsorber und Katalysatoren für die Industrie produziert.

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