System und Verfahren zur Formung von Laserlicht als Homogenen Linienstrahl zur Wechselwirkung mit einem auf einem Substrat Abgelagerten Film

EP1952105 Art B1 4. April 2012

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1952105
Aktenzeichen
EP06826398
Anmeldetag
20. Oktober 2006
Veröffentlichung
4. April 2012
Erteilung
4. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336G02B3/00B23K26/06B23K26/067B23K26/073
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Weigelt, Udo München, Deutschland
54
Patente gesamt
22
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Elektronik & Schaltungstechnik Medizintechnik & Gesundheit Maschinenelemente & Fluidtechnik
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